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GB28275硅基MEMS制造技術
GB28275硅基MEMS制造技術 – 標準名稱
GB28275: Silicon-based MEMS fabrication technology. Specification for KOH etch process
GB28275：硅基MEMS制造技術，氧化鉀腐蝕工藝規(guī)范
GB28275硅基MEMS制造技術 – 適用范圍
規(guī)定了采用氫氧化鉀腐蝕工藝進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求。適用于氫氧化鉀腐蝕工藝和管理。
Scope: This standard specifies the use of potassium hydroxide etch process performed MEMS device fabrication process requirements to be followed.
This standard applies to KOH etching process and management.
GB28275硅基MEMS制造技術 – 參考標準
GB/T 26111 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術，術語
GB/T 1031產品幾何技術規(guī)范（GPS），表面結構，輪廓法，表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值
GB 50073-2001 潔凈廠房設計規(guī)范
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